激光技術使得選擇性發射極結構應用于太陽能電池的大規模生產成為可能

　　晶體硅組件的市場價格約為1.50~2歐元/Wp（最大輸出功率），薄膜組件的市場價格約為1.50歐元/Wp，光伏市場的產品價格在一年內下降了30%～50%。由于許多的國家政府宣布“強制光伏上網電價”將會有很大幅度的下降，且該趨勢將繼續延續下去。對于薄膜太陽能電池制造商來說，他們必須在幾年內便能投入到產品的大批量生產中。因此，他們希望能夠找到一些削減基礎成本的空間，比如，卷到卷生產的靈活性太陽能電池是最有希望實現基礎成本削減的。對于滿足這種需要的技術，ROFIN公司提供了一種新的高速處理以及高度定制化的卷到卷太陽能電池生產系統。

　　晶體硅電池轉換效率的提升已成為新的焦點

　　通過控制制造實現晶體硅電池成本下降的空間已經非常有限，現有的一些技術都注重于節約使用材料（比如使用較薄的硅原料層或在表面上使用較少的銀質涂層，減少生產中的浪費以及進一步擴大工廠的可用性），但所有這些削減成本的措施只能提供有限的成本削減空間。

　　因此，制造商將他們的注意力集中到了每Wp產品價格的第二個組成部分：轉換效率。可用的技術范圍十分廣闊，多種高性能的電池所表現出來的效能都大于20％，然而在大規模太陽能電池生產的過程中通過轉換效率的盈利將超過必要的額外投資。

　　光伏設備制造商以及整線制造商均對他們產品的生產處理流程表示樂觀，并引進了額外的生產處理步驟以提高產品效能，新增加的處理步驟系統能夠直接安裝到現有的生產線上。在材料加工過程中使用激光工藝是一種理想的提高產品轉換效率的技術手段，相比刻蝕及擴散技術而言，激光加工技術能夠提供精確地控制。這樣既能夠產生成本效益，且不會損傷原料。作為一種清潔且靈活的技術，將其結合到現有的生產線中也是比較簡單的。

　　選擇性發射極結構的再開發及利用

　　一種最具前途的技術在光伏行業存在已久，在上世紀70年代便已經開始研究討論的選擇性發射極結構。選擇性發射極結構能夠保證太陽能電池的效能增加1個百分點（對多晶硅太陽能電池最高能達到17%，對單晶硅太陽能電池最高能達到18.5%）。

　　今天，大批量生產的太陽能電池都有一個完全金屬化的背面。一個厚的P層，一個較薄的n硅體層，鈍化和防反射層以及一個表面接觸電路。更詳細的說，通常在金屬化的接觸區后的n層進行重度摻雜處理，而在接觸電極實現輕度摻雜處理。重度摻雜處理能實現降低接觸電阻以及得到較好的側向電導率，對必要的再結合以及紫外光的反應來說，輕度摻雜處理很好的實現。因而這種短波長光譜工作的電池并不能將幾乎三倍的光子轉換為電能。

　　選擇性發射極結構在大規模生產中的應用

　　采用選擇性發射極摻雜的應用解決方案被認為是可行性極佳的。從其他的方面來講這也是一種常識，選擇性摻雜技術是綜合的大規模生產的必由之路。為了能夠得到不同水平的摻雜處理效果而進行額外增加的摻雜處理，使得生產過程更加復雜并需要進行多個步驟（掩膜、刻蝕和擴散等）。另外，還需要相當完美地排列重摻雜處理區域與表面接觸點的位置，這是一項非常精細的技術。

　　最近，研發出了幾種新的處理方法能夠避免以上提到的缺陷。來自德國的系統集成商以及整線供應商Roth & Rau.Manz.Schmid公司和Centrotherm公司在這個項目上進行了很大的努力。再加上同樣是行業內領先的制造商China Sunergy公司也將選擇性發射極結構應用到了大規模太陽能電池的生產之中。除了背電極刻蝕為形成重摻雜處理的發射極并使用刻蝕法進行了選擇性弱化處理，其他所有關于選擇性發射極的處理都是基于激光的方式進行。

　　基于激光刻蝕的選擇性摻雜技術已經成熟

　　目前擴散掩膜是其中最先進的一種方式，通過這項技術可以形成一個電介質掩膜（摸）層。然后進行選擇性地在電極區進行激光處理。接下來的擴散工藝在散步驟在掩模與非掩模區域上形成了不同的集中摻雜。

　　直接選擇性激光摻雜技術

　　直接選擇性激光摻雜技術對選擇性發射極結構來說也是一種可行的技術。由于激光能夠精確地控制區域性的熱量輸入，這就為選擇性激光摻雜技術的應用提供了最有利的先決條件。原來的技術將激光與液體或氣體等摻雜的源物質結合起來需要高精度的控制技術。相反新的技術使用一個“干”處理過程（例如進行局部的預混及沉淀于固態的摻雜膜層）。

　　最早的使用磷硅酸鹽玻璃層（PSG）的解決方案，在上世紀90年代就已經推出，在發射極的頂部使用傳統的摻雜擴散技術，作為下一步處理的摻雜源。由于激光能夠局部地消融硅原料的表面，并能夠使PSG層中的磷擴散到發射極中。然而，仍然要面對調整厚重的摻雜發射極區域與接觸電路的位置的挑戰。其他的方法是在表面接觸層成型之前，在電介質層的頂部使用磷摻雜劑，激光則在下方消融硅原料，幫助磷摻雜到消融的硅中并帶走電介質層，因此，能在隨后排列的金屬接觸層前暴露出硅原料的表面。

 
圖3、PSG摻雜的樣品照片

　　532nm激光及革新性的光纖傳導

　　太陽能電池的制造推動了激光技術在光束質量、輸出能量和脈沖頻率等方面的發展。Q開關和半導體泵浦固態激光器是實現這些應用很好的工具，如果結合電介質薄膜以及倍頻激光能夠得到最好的效果，并實行脈寬以及脈沖能量的調整對絕大多數的選擇性刻蝕都是必不可少的。對大多數的選擇性消融處理來說都是必不可少的。在太陽能大規模生產中，基于標準生產節拍的要求，基于不同的應用激光器輸出功率需要到達100W。

　　與基頻激光1064的固體激光器比較，波長為532nm的二倍頻激光器能實現在硅材表面實現1微米深的吸收層。而三倍頻激光器接近紫外光的激光器在某種程度上可以實現更好的吸收率，但是適合配套紫外激光器的光學器件極為少見，選擇性非常小，而且其使用壽命相對有限，目前對于規模生產尚有瓶頸。

　　當前的項目都是基于研究所以及太陽能電池制造商而設計，Rofin所提供的最新Powerline L 100 SHG提供了532nm的波長，非常適合于選擇性刻蝕處理以及直接摻雜處理應用。其最新的光纖傳輸系統，特別為這個波長所設計，為這個項目的順利實施起到了決定性作用。這項技術提供了整個激光光斑區域內的激光能量的平均分布，保證了激光刻蝕及擴散處理的穩定性。

　　結論

　　對于激光設備制造商來說，光伏市場是正在興起且需求量極大的一個市場。新的能夠滿足大批量生產要求的高轉換效率的電池以及電池優化技術緊緊地把研究機構、生產線制造商和太陽能電池制造商聯系了起來。再加上選擇性發射極結構，這些是已經在高效能電池的大批量生產中驗證過的知名電池產品結構。從LFC到LBC以及被電極電池，激光技術是對“高效能”理念進行嘗試與試驗中的關鍵技術。

　　并且使用激光對電介質層進行選擇性摻雜和選擇性刻蝕處理為提高電池效能新的技術研究開辟了一片新天地。在許多其他項目中，他們往往只關注前面板與背部的接觸層的優化和設計。由于選擇性刻蝕使用的激光厚度只有10nm到100nm，因此，對激光的光束質量、脈沖頻率穩定性以及長期的穩定性的要求都相當高。這將成為推動適合用于光伏制造的激光器研究發展的源動力，就像ROFIN公司的PowerLine L系列。