IBM研究實(shí)驗(yàn)室（IBMResearch）9日宣布，IBM與伙伴格羅方德半導(dǎo)體（GlobalFoundriesInc.）、三星和紐約州立大學(xué)納米理工學(xué)院終于突破重大瓶頸，共同打造出全球首顆7納米芯片原型，進(jìn)度超越英特爾（IntelCorp.）等競爭對手。

　　IBM半導(dǎo)體科技研究部副總裁MukeshKhare表示，這款測試芯片首度在7納米晶體管內(nèi)加入一種叫做「硅鍺」（silicongermanium，簡稱SiGe）的材料，并采用了極紫外光（EUV）微影技術(shù)。荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠艾司摩爾（ASMLHoldingNV）本身研發(fā)的EUV設(shè)備一臺(tái)要價(jià)1.5億美元，相較之下他種微影系統(tǒng)一臺(tái)售價(jià)只有5,000萬美元。

　　ArsTechnica9日指出，7納米制程芯片至少還要等兩年才能具有商業(yè)用途，但I(xiàn)BM與其伙伴的突破仍具有重大意義。首先，這款芯片采用的制程技術(shù)低于10納米，還是第一款使用硅鍺的10納米以下FinFET邏輯芯片，另外也是全球第一個(gè)導(dǎo)入EUV技術(shù)、能有商業(yè)用途的芯片設(shè)計(jì)。

　　英特爾對14納米制程技術(shù)的校正進(jìn)度已延遲約六個(gè)月，目前則在開發(fā)10納米技術(shù)，有望于2016年問世。英特爾資深主管MarkBohr最近曾表示，該公司的7納米制程應(yīng)該不需要改用EUV設(shè)備，但他并未透露更多細(xì)節(jié)。

　　彭博社報(bào)導(dǎo)，英特爾是ASML在美國的最大客戶。INGBankNV分析師RobinvandenBroek當(dāng)時(shí)在接受專訪時(shí)指出，這明顯是英特爾想要在7納米制程技術(shù)中導(dǎo)入EUV設(shè)備，而假如以正常的報(bào)價(jià)計(jì)算，這筆訂單的金額將高達(dá)15億歐元；也就是說，英特爾已將一筆為數(shù)不小的資金投入了7納米制程科技。denBroek還說，ASML另外兩家大客戶分別是三星與臺(tái)積電，他認(rèn)為這兩家業(yè)者也會(huì)跟進(jìn)導(dǎo)入EUV。

　　臺(tái)積電共同執(zhí)行長劉德音曾在4月16日表示，臺(tái)積電已開始研發(fā)7納米制程技術(shù)，預(yù)計(jì)2017年就進(jìn)入最后試產(chǎn)階段的風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn)(RiskProduction)。